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GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法[发明专利]

来源:刀刀网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制

备方法

专利类型:发明专利

发明人:孙慧卿,张秀,郭志友,侯玉菲,汪鑫,龚星,徐智鸿,刘天

申请号:CN201711013670.7申请日:20171026公开号:CN107809057A公开日:20180316

摘要:本发明公开了GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法,所述GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片由下至上依次包括:衬底、缓冲层、AlN/GaN布拉格反射镜、n‑GaN层、下波导层、多量子阱层、上波导层、超晶格电子阻挡层、p‑GaN层,所述超晶格电子阻挡层的材料为Al组分渐变的p‑AlGaN/GaN,其中,0

申请人:华南师范大学

地址:510000 广东省广州市天河区中山大道西5号

国籍:CN

代理机构:广州粤高专利商标代理有限公司

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