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专利名称：一种单晶加料装置及加料方法专利类型：发明专利发明人：郭大伟,关树军,陈辉申请号：CN201911400476.3申请日：20191230公开号：CN111074336A公开日：20200428
摘要：本发明公开了一种单晶加料装置及加料方法，包括储料器、加料仓和气路系统，储料器密封设置于加料仓上，储料器和加料仓分别与气路系统连接，加料仓通过一金属波纹软管能够与单晶炉内的坩埚连通，单晶炉与金属波纹软管的连接处设置一插板阀。本发明既解决了RCZ要等硅棒出炉后，才能再次加料的低效问题，又解决了CCZ对硅料大小、对坩埚要求高的问题。本发明无需将进料重量进行实时精确控制，可以适配更大尺寸硅料，市场可选料种丰富，对坩埚要求与普通直拉单晶无差异，没有液面波动的问题。本发明能够进一步提高产能的同时降低成本。
申请人：北京京运通科技股份有限公司
地址：100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号
国籍：CN
代理机构：北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张铁兰
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