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专利名称：半导体元件与聚合光波导元件相集成的方法和电-光器件
专利类型：发明专利
发明人：德·道贝莱尔,彼得·马丁·西里尔,范·代勒,彼得·保罗申请号：CN94102932.8申请日：19940318公开号：CN1094817A公开日：19941109
摘要：本发明涉及制作电-光器件的方法，它包括把半 导体元件与聚合光波导元件相集成。根据本发明，借 助外延分离(ELO)获得的半导体元件被嵌在波导器 件中，该器件除了聚合光波导结构之外还包括适当的 空腔。本发明还涉及可用ELO技术得到的集成电- 光器件。特别地，它涉及一种集成电-光器件，其中 聚合波导元件和半导体元件被集成在一个基片上，该 基片是用与半导体元件不同的材料，最好是诸如硅之 类的具有良好散热性的材料制成的。
申请人：阿克佐诺贝尔公司
地址：荷兰阿纳姆
国籍：NL
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：姜华
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